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离子干法刻蚀
在现代微电子制造领域，离子干法刻蚀是一种至关重要的工艺技术。它通过利用等离子体中的活性粒子来精确地去除材料表面的部分物质，从而实现
2025年06月11日 19:57:25
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在现代微电子制造领域，离子干法刻蚀是一种至关重要的工艺技术。它通过利用等离子体中的活性粒子来精确地去除材料表面的部分物质，从而实现
